影响超精密零件加工的因素有哪些

超精密加工技术是20世纪60年代提出的，它是提高机电产品性能、质量、工作寿命和可靠性，以及节术栉能的重要途径，超精密加工是指加工误差小于0.1m ，表面粗糙度小于Ra0.025Ixm的加工技术，也称为亚微米级加工，超精密加工技术水平是一个国家制造工业水平的重要标志之一。

超精密加工中除了液压、气压源的波动外，工作环境对加工质量的影响很大，因此，工作环境是保证加工质量的必要条件，工作环境主要有温度、净化和防振等方面的要求。环境温度变化对机床精度的影响尤为显著，包括环境温度变化在内的热因素引起的加工误差占总加工误差的(40 70)％灰尘的混入会使工件表面划伤，而影响其表面质量；加工过程中如发生振动，会使工件已加工表面上出现条痕或布纹状痕迹，使表面光洁度显著下降。

随着超精密加工精度要求越来越高，对加工环境的要求越来越严格，仅从影响超精密加工精度的供气压力波动，环境温度变化，外界和自身振动三方面进行了分析，影响超精密加工精度的因素是多方面的，要提高超精密加工精度，不但要了解其影响的因素，还必须掌握解决途径